随着科技不断地发展，中国科技也迅速崛起，不少科技研究都打破了国外技术壁垒。其中，郑州大学科研团队研发的ITO靶材，其关键技术指标达到了国际先进水平。该项技术不仅解决了“卡脖子”问题，实现了ITO靶材制备整体工艺技术自主创新，更是一举打破了日韩企业在该领域的垄断。

那么，这是一个什么样的技术？它的应用都有哪些？这项技术的研究意义又是什么？

这是个什么样的技术？

ITO靶材，又称氧化铟锡材料，是电子产品显示屏所用的关键材料之一。

没有这个关键材料，显示屏的玻璃基材就不透明不导电。ITO靶材用磁控溅射离子束对着靶材进行高速轰击，将其气化溅镀到玻璃基板上，就形成了一层既导电又透明的ITO膜。

2015年至今，郑州大学的何季麟院士团队经过数年的研发，终于成功取得了“平板显示用高性能ITO靶材的关键技术及工程化”项目的成果，实现了中国在高端ITO靶材的制造生产领域从零到有的突破。

在这个领域里，何季麟院士团队研发出关键技术体系，包含：ITO靶材粉体制备、素坯注浆成型、无压氧气氛烧结与靶坯绑定。

这个技术的应用范围有哪些？

从2019年至2021年数据来看，国内ITO靶材市场容量从639吨增长到1,002吨，年复合增长率为25.22%。可见，ITO靶材应用范围较广，这里例举主要的三大领域如下（其他领域不做介绍）。

1、显示屏领域的应用

近几年，随着电子数码产品行业的飞速发展，以阴极射线管(CRT)为主的电脑、电视显示屏占据了市场主流，这对ITO靶材的技术要求也大幅提高。另外，随着LCD、触摸面板和OLED等下游市场需求的快速扩大，国内对高端ITO靶材的需求持续上升。

2、集成电路半导体的应用

​在集成电路半导体产业里，硅晶片的制造商对靶材需求大，国内在半导体靶材占比约约 9%。

由于，靶材的结晶粒子直径和均匀性是影响薄膜沉积率的关键因素，因此，半导体对靶材溅射薄膜的品质要求是最苛刻的，要求所制造的靶材具有更好的微观结构（比如：大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒）。

因此，随着需求和要求的不断提高，也会带动高端ITO靶材技术的发展。

3、太阳能电的应用

太阳能电池板的基本成分是薄膜太阳能电池，这里的薄膜也需要用到ITO靶材，在国内太阳能电靶材应用占比约为9%。

而且，国内为了实现2030年达到碳中和的目标，会大力发展新能源（风能和太阳能等）的建设。因此，随着太阳能电的建设越来越多，也将会增加对ITO靶材的需求。

这项技术的研发意义

1、打破技术壁垒，实现超越

在20年前，这项技术是被外国“卡脖子”，其他发达国家不仅实行技术保密，还不卖装备，国内对此项技术更是无材料可查。乃至2018年，国内还没有一家企业能做超过32英寸的靶材，烧不出大号靶材，中国平板显示制造就陷入困境。

因此，何季麟院士团队实现了大尺寸ITO靶材制备关键技术突破，直接打破了国外技术壁垒。为我国建立了ITO靶材制备新型工艺流程，并形成完善的全流程工艺装备体系及控制标准，并实现技术指标达到国际先进水平。

2、改变了日韩企业的垄断局面

之前，由于日韩企业把握着生产制造ITO靶材的技术，所以全球的ITO靶材的生产和销售都集中在日韩企业手里。如今，我国的ITO靶材新技术研发成功，并已经成功应用于世界最大面板企业京东方的高世代TFT线，完全实现国产替代进口，改变了ITO靶材市场格局。

这不仅打破了日韩企业的垄断局面，甚至，由于​该项技术的应用，迫使日本ITO靶材大幅降价，降幅75%以上。

3、推进关键材料的国产化进程

我国通过自研的创新技术，不仅实现国产高端ITO的生产与供应，还基于这项技术建立了高水平靶材研发平台与团队，为行业培养了一批骨干人才。

随着技术广泛应用，以及人才的批量培养，进一步推进国内新兴显示产业关键基材的国产化进程，逐步实现关键基材“中国制造”到“中国创造”的转变。

结束语

国内研发的ITO靶材的技术，不仅打破了日韩企业的垄断局面，更是达到了国际领先水平。可以看到，随着国内科技的发展，一些关键技术“卡脖子”的问题，正在一步步地解决。

当然，这离不开国内科研人员的努力，以及国家的大力支持。笔者相信，只要国内科企和科研人员，舍去“买办”思想，丢弃依赖进口技术的习惯，用不了多久就会创造出更多的领先国际的技术。

对此，你怎么看呢？