打破荷兰垄断,中国突破一项光刻机核心技术,国产光刻机未来可期

打破荷兰垄断,中国突破一项光刻机核心技术,国产光刻机未来可期

制造芯片是很多国家都在积极推进的产业,光刻机是制造芯片不可或缺的重要设备,我国就突破了一项光刻机核心技术,打破荷兰垄断,国产光刻机前景可期。

世界上能生产扫描光刻机设备的公司只有三家左右,荷兰的ASML公司,中文名字叫做阿斯麦,中国台湾地区公司名字叫做艾司摩尔,这是一家位于全球2000强公司排行榜第279名的企业,总部位于荷兰,也是全球规模最大的半导体公司。

能够面向全世界提供半导体产品和设备,生产工艺先进,复杂的精密集成电路设备都处于领先水平。

第二家就是日本的NIKON 尼康公司和CANON日本佳能公司,这两个名字很多网友都不陌生,虽然现在使用相机的人不多了,但是这两个公司曾经靠相机风靡全球,后来在半导体领域也做出很大的成绩。

作为世界光刻机生产三巨头,荷兰阿斯麦公司拔得头筹,而且也颇为自得,对自己的技术非常自负,甚至曾经公开表态,认为其高端的极紫光光刻机技术,中国永远都无法模仿和突破,而且中国是遵守知识产权秩序良好的国家,在没有取得授权的情况下,更不会去进行私下的模仿。

所以荷兰的阿斯麦公司很有信心,认为仅凭光刻机产品的技术垄断,就能继续称霸国际市场,而中国作为世界上的最大需求进口国,未来依然是阿斯麦公司的客户,只能被动等待荷兰公司的产品。

阿斯麦有理由相信,就算让中国模仿,这种结构复杂的光刻机也不是谁都能简单复制得了的,极紫光光刻机有着8万多个零部件,超过九成的零件都是供应商来提供,每个供货商只能负责自己的那部分零件,没有任何一家公司能完全生产所有的零部件,这也在一定程度上保证了光刻机的保密和技术安全。

荷兰公司需要掌控超过百余家的公司作为供货商,这些企业又来自不同的国家,比如反光镜和光学零部件的供货来自德国,光源来自美国,计量的零部件设备来自美国,这些是世界上最顶尖的技术集合在一起,没有任何一家公司能把世界上最厉害的技术集合到一起。

荷兰阿斯麦公司把所有的零部件集中到自己的厂家后进行技术组装,按照保密的图纸和制造工艺把光刻机加工出来,这种技术是高度保密的,就算买到了光刻机的国家,也无法拆解后进行还原,至少当下这个阶段是无法做到的,就像日本的发动机一样,只要拆开就是一堆废品了因为整体都焊接在一起,任何国家都难以进行拆分和组装,所以这些拥有专利技术的公司才能安全坐享利润。

阿斯麦的光刻机都有传感器,也就是说售出的光刻机禁止拆开,只要正常使用不会报警,一旦想拆开进行分析结构的话,内置的传感器会自动把异常情况回传给荷兰的阿斯麦公司,可见对专利技术的保护已经武装。

在这种情况下,我国就算正常去进口,也被限制购买,因为美国不允许荷兰向我国提供高端的光刻机,就是为了打压我国的芯片研发技术进展,甚至还扣留了荷兰阿斯麦公司的设备出口到中国的许可证。

简而言之,我国的芯片行业和光刻机行业可谓很是艰难,但是我国科研领域都是迎难而上,不畏惧外在的压力和限制,现在已经冲破重重阻挠和克服难题,在光刻机的核心系统需要的步进扫描工作台技术有了重大突破,这意味着,我国在自主研发光刻机的领域又迈进一大步。

这个进步就是在光刻机重要的核心构造,双工作台领域取得的成果。重要性堪称光刻机的心脏,光刻机运用到的光线,目前是紫外光,深紫外光,和极紫外光集中,把电路图从磨板转移到硅片上的技术实现。

光刻机有三个核心部分构架,分别是投影物镜、光源和工作台,工作台由硅片台与掩模台组成,我国现在就是在双工作台方面进行了突破,这项研究是我国的清华大学团队牵头,由我国的顶级供货商华卓精科公司协助。

光刻机双工作台技术宣布研发成功,这项技术的成功是非常了不起的,打破了荷兰阿斯麦公司在光刻机双工作台方面的技术垄断,中国的华卓精科光刻机双工作台技术,成为继荷兰公司后,世界第二家拥有该项技术的公司。

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