打破荷兰垄断,中国突破一项光刻机核心技术,国产光刻机未来可期

打破荷兰垄断,中国突破一项光刻机核心技术,国产光刻机未来可期

制造芯片是很多国家都在积极推进的产业,光刻机是制造芯片不可或缺的重要设备我国就突破了一项光刻机核心技术,打破荷兰垄断,国产光刻机前景可期。

世界上能生产扫描光刻机设备的公司只有三家左右,荷兰的ASML公司,中文名字叫做阿斯麦,中国台湾地区公司名字叫做艾司摩尔,这是一家位于全球2000强公司排行榜第279名的企业,总部位于荷兰,也是全球规模最大的半导体公司。

能够面向全世界提供半导体产品和设备,生产工艺先进,复杂的精密集成电路设备都处于领先水平。

第二家就是日本的NIKON 尼康公司和CANON日本佳能公司,这两个名字很多网友都不陌生,虽然现在使用相机的人不多了,但是这两个公司曾经靠相机风靡全球,后来在半导体领域也做出很大的成绩。

作为世界光刻机生产三巨头,荷兰阿斯麦公司拔得头筹,而且也颇为自得,对自己的技术非常自负,甚至曾经公开表态,认为其高端的极紫光光刻机技术,中国永远都无法模仿和突破,而且中国是遵守知识产权秩序良好的国家,在没有取得授权的情况下,更不会去进行私下的模仿。

所以荷兰的阿斯麦公司很有信心,认为仅凭光刻机产品的技术垄断,就能继续称霸国际市场,而中国作为世界上的最大需求进口国,未来依然是阿斯麦公司的客户,只能被动等待荷兰公司的产品。

阿斯麦有理由相信,就算让中国模仿,这种结构复杂的光刻机也不是谁都能简单复制得了的,极紫光光刻机有着8万多个零部件,超过九成的零件都是供应商来提供,每个供货商只能负责自己的那部分零件,没有任何一家公司能完全生产所有的零部件,这也在一定程度上保证了光刻机的保密和技术安全。

荷兰公司需要掌控超过百余家的公司作为供货商,这些企业又来自不同的国家,比如反光镜和光学零部件的供货来自德国,光源来自美国,计量的零部件设备来自美国,这些是世界上最顶尖的技术集合在一起,没有任何一家公司能把世界上最厉害的技术集合到一起。

荷兰阿斯麦公司把所有的零部件集中到自己的厂家后进行技术组装,按照保密的图纸和制造工艺把光刻机加工出来,这种技术是高度保密的,就算买到了光刻机的国家,也无法拆解后进行还原,至少当下这个阶段是无法做到的,就像日本的发动机一样,只要拆开就是一堆废品了因为整体都焊接在一起,任何国家都难以进行拆分和组装,所以这些拥有专利技术的公司才能安全坐享利润。

阿斯麦的光刻机都有传感器,也就是说售出的光刻机禁止拆开,只要正常使用不会报警,一旦想拆开进行分析结构的话,内置的传感器会自动把异常情况回传给荷兰的阿斯麦公司,可见对专利技术的保护已经武装。

在这种情况下,我国就算正常去进口,也被限制购买,因为美国不允许荷兰向我国提供高端的光刻机,就是为了打压我国的芯片研发技术进展,甚至还扣留了荷兰阿斯麦公司的设备出口到中国的许可证。

简而言之,我国的芯片行业和光刻机行业可谓很是艰难,但是我国科研领域都是迎难而上,不畏惧外在的压力和限制,现在已经冲破重重阻挠和克服难题,在光刻机的核心系统需要的步进扫描工作台技术有了重大突破,这意味着,我国在自主研发光刻机的领域又迈进一大步。

这个进步就是在光刻机重要的核心构造,双工作台领域取得的成果。重要性堪称光刻机的心脏,光刻机运用到的光线,目前是紫外光,深紫外光,和极紫外光集中,把电路图从磨板转移到硅片上的技术实现。

光刻机有三个核心部分构架,分别是投影物镜、光源和工作台,工作台由硅片台与掩模台组成,我国现在就是在双工作台方面进行了突破,这项研究是我国的清华大学团队牵头,由我国的顶级供货商华卓精科公司协助。

光刻机双工作台技术宣布研发成功,这项技术的成功是非常了不起的,打破了荷兰阿斯麦公司在光刻机双工作台方面的技术垄断,中国的华卓精科光刻机双工作台技术,成为继荷兰公司后,世界第二家拥有该项技术的公司。

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